电子气体-尊龙凯时网址

中文名

    电子气体 

英文名

 

分子式

 

别  名

 

用  途

按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，lsi（大规模集成电路）级，vlsi（超大规模集成电路)级和ulsi(特大规模集成电路）级。 

性  状

 

生产方法